Products
本產(chǎn)品主要用于nm級精度3D微結(jié)構(gòu)測量領(lǐng)域。設(shè)備基于白光干涉術(shù)原理，對干涉包絡(luò)快速高精度解析虛擬探針與工件相交的精準位置，精準測量工件表面形貌。
技術(shù)參數(shù):
全自動測量系統(tǒng)
設(shè)備具無損非接觸、定位精度高、適應(yīng)工業(yè)快速測量
產(chǎn)品應(yīng)用：
微納材料、精密光學面型、半導(dǎo)體工業(yè)等產(chǎn)品測試工藝
適合研發(fā)、實驗室驗證等
