F300L是一款專業(yè)應對各類先進芯片性能測試的綜合型高效半自動晶圓探針臺,可實現電學、光波、微波等多種測試功能,可加載高低溫、氣敏、磁場等多種應用環(huán)境,綜合精度、測試效率、溫控精度及運行穩(wěn)定性均處于行業(yè)先列
應用領域:
5x5mm碎片~12”晶圓的手動上料+自動測試,主要應用于數字/模擬/混合集成電路、MEMS、汽車電子/電源等類型芯片的電性能測試、可靠性測試、失效分析等
主要特點:
可搭載國內外各種測試機完成功率SOC、IGBT、MCU、Memory、RF等領域的功能測試
全封閉式三同軸雙屏蔽測試腔室,實現fA級漏電流
獨特的控制算法提供出色的速度平滑和亞納米級靜止抖動控制
從隔熱控溫、材料和結構設計、系統動態(tài)補償等多維度縮短冷熱機影響